上海微电子设备的母公司是中国科学院微电子研究所（Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences，简称IMECAS）。中国科学院微电子研究所是微电子领域的一个重要研究机构，而上海微电子装备有限公司（Shanghai Microelectronics Equipment Company，简称SMEE）是由中国科学院微电子研究所等单位共同出资成立的，专注于研发、生产和销售光刻机等高端半导体设备的企业。上海微电子装备有限公司的发展得到了国家的大力支持，旨在提升我国在半导体领域的自主创新能力。
