上海微电子装备（集团）股份有限公司（简称“上海微电子”或“SMEE”）是中国半导体装备制造业的领军企业之一，专注于研发、生产和销售光刻机等高端半导体装备。公司成立于2002年，总部位于中国上海。
上海微电子的主要产品包括：
- 光刻机：用于半导体芯片制造的关键设备，能够将电路图案转移到硅片上。
- 刻蚀机：用于去除或刻蚀硅片表面的材料，形成电路图案。
- 沉积设备：用于在硅片表面沉积绝缘层或导电层。
- 离子注入机：用于在硅片表面引入杂质，改变其电学性质。
上海微电子的发展历程如下：
- 2002年：公司成立，开始研发光刻机。
- 2009年：推出首台国产光刻机。
- 2014年：成功研发出具有自主知识产权的90nm光刻机。
- 2018年：推出具有自主知识产权的65nm光刻机。
- 2020年：成功研发出具有自主知识产权的14nm光刻机。
上海微电子作为中国半导体装备制造业的佼佼者，积极推动国产半导体装备的发展，为我国半导体产业的崛起做出了重要贡献。同时，公司还与国内外多家知名企业建立了合作关系，共同推动半导体产业的发展。